티로보틱스, 유리기판 이송로봇 日특허 등록에 급등
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티로보틱스가 반도체 유리기판 공정 환경에 최적화된 진공로봇 관련 '진공 챔버 내에서 기판을 이송하는 장치'의 일본 특허 등록을 완료했다.
특허 등록 소식에 티로보틱스 주가는 장 초반 한때 28%대까지 급등했으며 현재도 전 거래일 대비 크게 오른 수준에서 거래되고 있다.
해당 진공로봇은 티로보틱스가 지난해 반도체대전(SEDEX 2025)에서 공개한 유리기판 이송용 로봇 기술과 관련된 것이다.