삼성전자, P5 EUV 20대 등 노광장비 70여대 10조원대 발주
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삼성전자가 평택 P5 1구역에 EUV 약 20대를 포함한 노광장비 70여대를 ASML·캐논에 10조원 이상 규모로 발주했다.
이번 장비 투자는 10나노 이하 1c D램과 HBM4 생산능력 확대를 위한 것으로, 내년 1분기 P5 클린룸 준공 시점에 맞춰 반입될 예정이다.
이에 따라 삼성전자는 SK하이닉스 대비 EUV 보유량과 초미세공정 경쟁에서 초격차를 유지하며 HBM4·차세대 D램 시장 우위를 강화할 전망이다.